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| [산업원천기술개발사업] "반도체 장비, 재료 성능평가 사업" 과제모집 공고(~4.23) |
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| 글쓴이 : GRRC강혜원
날짜 : 10-04-15 10:47
조회 : 2805
트랙백 주소 |
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 http://www.ksia.or.kr/bbs/bbsView.jsp?mgrId=6&bbsId=2503&cPage=1&cBlck… (498) |
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국내 반도체 장비 재료산업 경쟁력 강화 및 반도체 장비 재료업계 육성을위하여 수요대기업
중심의 장비 재료 평가라인을 구축하고 성능검증 및 신뢰성을 평가 인증하는 2010년 “반도체
장비 재료 성능평가 사업”을 아래와 같이 공고하오니, 참여하고자 하는 업체에서는 첨부의
양식에 따라 과제신청을 바랍니다.
2010년 4월 15일
한국반도체산업협회장
1. 사업내용
○ "반도체 장비 재료 성능평가 사업“의 정의
- 국내 반도체 장비 재료업체에서 개발한 제품을 수요대기업 양산라인에 투입하여
생산수율 및 신뢰성등을 비교 평가하여 인증하는 사업
* 양산라인은 수요대기업인 동부하이텍(주), 삼성전자(주), (주)하이닉스반도체 3개사를 활용
○ 과제구분
- 정부과제 : 공동평가, 교차평가, 신규진입업체 및 대량판매 연계품목 우선지원
- 민간과제 : 수급기업간 단독평가 품목 우선지원
○ 지원규모
- 정부과제 : 기초 및 양산성능평가를 위해 신규로 투입되는 소모성 재료비 및 유틸리티
구축비용으로 장비는 5억원 이내, 재료는 1억원 이내 자금지원
- 민간과제 : 수요대기업에서 무상으로 지원하며 일부(운송비 등) 평가신청업체에서 부담
○ 평가기간
- 정부과제 : 2010. 5 ~ 2011. 1월까지 (약 9개월)
- 민간과제 : 2010. 5 ~ (평가진행 현황에 따라 탄력적 운영)
○ 추진절차
- 기초성능평가 : 선정된 품목의 기초성능을 수요대기업에서 평가하는 것을 원칙으로
하고, 목표수준에 도달하면 인증 (단, 품목의 특성에 따라 전문위원회의 결정을 통해
장비 재료업체, 제3의 기관 등에서 평가를 실시할 수도 있음)
- 양산성능평가 : 기초성능평가에서 인증받은 품목 및 기술력 또는 신뢰성이 인정되는
품목 중 양산성능평가 대상품목을 선정하여 수요대기업 양산라인에 직접 투입하여
평가, 인증
○ 공고대상 품목 및 사양
※ 상세는 세부Spec 참조(한국반도체산업협회 홈페이지(http://www.ksia.or.kr) 및
성능평가사업 홈페이지(http://demofab.org)
※ 공고대상 품목 이외의 자유과제 신청가능
2. 신청대상 신청방법
○ 신청대상
- 국내 반도체 장비 재료기업으로써 성능평가 사업에 참여하여 평가대상 품목을
제공하고, 필요시 운영비의 일부를 부담하는 기업
○ 신청방법
- 한국반도체산업협회 인터넷 홈페이지(http://www.ksia.or.kr) 및 반도체 장비 재료
성능평가 인터넷 홈페이지(http://demofab.org)의 공지사항에서
양식2 “성능평가 사업신청서” 등 관련서식을 내려받아 글파일로 작성하여 제출
- 동 사업의 사업신청서 원본 1부와 구비 첨부서류 및 신청공문을 함께 제출
* 사업신청서 및 구비서류는 집게로 묶어(제본/링 처리하지 않음) 제출
○ 사업추진방법
서면심사 → 기초성능평가 → 양산성능평가 → 인증
- 평가 대상품목에 대한 사업신청서를 접수하여 ‘서면심사’ 후 선정, ‘기초성능평가’를
거쳐 기초성능 확보여부를 확인한 품목에 대하여 ‘양산성능평가’를 실시하고 결과에 따라
제품 인증
- 서면심사 후 선정결과는 서면 통보
3. 접수기간 접수 및 문의처
○ 접수기간 및 접수방법
- 2010년 4월 15일(목) ~ 2010년 4월 23일(금) 오후5시
- 방문 접수 및 우편 접수에 한함(인터넷 사전접수 필수
- 방문 접수의 경우, 마감일 접수시간 엄수하기 바라며, 우편 접수는 마감일 전 도착
분에 한함
○ 접수처 및 문의처
[137-130] 서울시 서초구 양재동 107번지 반도체회관 5층 한국반도체산업협회
장비재료지원팀 이치우 차장 (02-570-5210) 김동현 대리 (02-570-5212)
4. 기타 참고사항
○ 상기 주의사항 또는 주어진 작성요령에 위배되거나 제출된 서류가 허위사실로
판명되었을 경우 이로 인한 모든 책임은 과제제안자에게 있으며, 제출된 서류는 일체
반환하지 않음
○ 성능평가 완료 후 인증서 발급 시 별도의 수수료가 부과
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