±â¾÷¸í : (ÁÖ)»çÆÄÀ̾îÅ×Å©³î·ÎÁö
ºÐ¾ß : ´ÙÀÌ¿Àµå, ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ Á¦Á¶¾÷
ȸ»çÁÖ¼Ò : °æ±âµµ ȼº½Ã Çâ³²À¾ ¹ß¾È°ø´Ü·Î4±æ 65
ÀüȹøÈ£ : 031-297-3551
Áö¿ø¼¾ÅÍ : ¾ÆÁÖ´ëÇб³ ±¤-ÀÇ·á À¶ÇÕ±â¼ú ¿¬±¸¼¾ÅÍ(GRRC)
Áö¿ø³»¿ë
- ´Ü°áÁ¤ SiCÀÌ ÇöóÁ è¹öÀÇ Focus RingÀ¸·Î »ç¿ë °¡´ÉÇÑÁö °ËÅäÇϱâ À§ÇØ, Si ¹× SiO2 ½Ä°¢°øÁ¤¿¡¼ SiC Focus RingÀÇ Æ¯¼º µ¥ÀÌÅÍ º¯È¸¦ °ËÅäÇÏ°í Æò°¡ÇÏ¿© °³¼±Á¡À» µµÃâÇÔ
Áö¿ø°á°ú
- SiCÀÇ etch rate°¡ 30 nm/min¿¡¼ 20 nm/min·Î ³»ÇöóÁ¼ºÀ» °³¼±ÇÏ¿© ´Ü°áÁ¤ SiCÀÇ ±¤-ÇöóÁ ½Ã½ºÅÛÀÇ Àü±Ø Àû¿ë¼ºÀÇ ¾Ö·Î»çÇ×À» Áö¿øÇÔ
|