소속센터 : 한국공학대학교 다중소재 가공기술 혁신연구센터(GRRC)
회사명 : (주)디엠티
분야 : 정밀 리니어 스테이지, 초정밀 에어베어링 스테이지, 자동화 소재
대표 : 서종규
홈페이지주소 : www.dynamicmotion.kr
회사주소 : 경기도 평택시 진위면 진위2산단로 31-13
전화번호 : 031-647-0644
회사소개
- 점점 고도화, 고집적화, 대형화 되는 최첨단의 반도체, 디스플레이, PCB, 의료, 바이오 공정, 제조 관련 작업물의 정밀 위치 이동 관련 리니어 스테이지 시스템을 연구 개발, 양산 제조하고 있다.
또한 증착, SEM, 레이저 드릴링, 바이오 질량분석기 등에 적용하는 초고진공용 리니어 스테이지 및 진공 챔버 제작 기술을 보유하고 있습니다.
극내 최고 25년의 리니어 스테이지 연구개발, 제조 경험의 축적된 기술력을 바탕으로 고객에게 최고의 기술 가치와 차별화된 품질경쟁력을 갖춘 스테이지 시스템 및 소재 부품을 공급하고 있다.
제품소개(Z Wedge Linear Nano Stage)
- Structure : Z Wedge Linear Stage
- Application : High-end Z Application, SEM, AFM, SPM, Overlay, BIO, ....
- Z Height : < 30.5mm
- Max. Travel : 1.2mm
- Acceleration Velocity : 0.01G, 1.0mm/s @ 12kg[Payload]
- Position Accuracy : ±0.9um
- Bi-dir. Repeatability : ±80nm
- In-position Stability : ±4.0nm[Without Isolator, PWM], ±1.8nm[With Isolator, PWM], ±1.0nm[Without Isolator, Nano PWM]
- Straightness/Flatness : ±0.74um@P.T./±0.37um@P.T.
- Feedback Resolution : 0.061nm[*4096]
- Gravity Compensation : Counterbalanced with Cylinder
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