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Home >   (주)사파이어테크놀로지   글쓴이 : 이대용     날짜 : 18-02-23 17:20     조회 : 590     트랙백 주소 기업명 : (주)사파이어테크놀로지 분야 : 다이오드, 반도체소자 제조업 회사주소 : 경기도 화성시 향남읍 발안공단로4길 65 전화번호 : 031-297-3551 지원센터 : 아주대학교 광-의료 융합기술 연구센터(GRRC) 지원내용 - 단결정 SiC이 플라즈마 챔버의 Focus Ring으로 사용 가능한지 검토하기 위해, Si 및 SiO2 식각공정에서 SiC Focus Ring의 특성 데이터 변화를 검토하고 평가하여 개선점을 도출함   지원결과 - SiC의 etch rate가 30 nm/min에서 20 nm/min로 내플라즈마성을 개선하여 단결정 SiC의 광-플라즈마 시스템의 전극 적용성의 애로사항을 지원함